電漿清洗機在工作中是采用非聚合性氣體作為介質對固體材料表面作用，作用于固體表面發生的物理和化學過程。選用的氣體種類的不同對不同材料的表面作用的機理也不相同，所以當我們處理的產品不同、工藝不同，也將會采用特定的氣體進行反應。 

1、電漿清洗機選用反應性氣體的作用機理

 　　常見的反應性氣體是O2、N2，材料在反應性氣體的電漿作用下，表面微觀結構發生變化;而且由于O2，N2的化學活性，可直接結合到大分子鏈上，從而改變了高分子材料表面的化學組分，如高分子材料在含氧等離子體基團作用下發生氧化反應。 

2、電漿清洗機選用非反應性氣體的作用機理

 　　非反應性氣體工藝氣體如Ar，He，H2等，這些氣體原子是不直接進入到材料表面的大分子鏈中，但這些非氣體離子中的高能粒子能對材料表面的轟擊，進行能量傳遞，產生大量的自由基，借助于這些自由基在材料表面形成雙鍵和交聯的結構，所以非反應性氣體等離子體在材料表面形成薄薄的致密的交聯層，不僅改變了材料表面的自由能，而且還可以減少高分子內部低分子物質(增塑劑、抗氧劑等)的滲出。

 　　電漿清洗機的工藝機理，就是是依靠電漿（等離子體）中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發為等離子態；氣相物質被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子；產物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。

主要用于以下應用：
1、表面清潔

2、表面活化

3、鍵合
4、去膠
5、金屬還原
6、表面刻蝕
7、去除表面有機物
8、疏水實驗
9、鍍膜前處理等

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