在表面處理中,許多半導體材料在加工過程中都需要清洗、刻蝕以確保產品質量。因此在半導體行業中,等離子刻蝕機工藝技術,半導體真空等離子清洗應用愈來愈受人們的重視。
等離子清洗是半導體封裝制造業中常見運用化學性質形式。這也是等離子清洗擁有比較突出的特色,能夠促進增加晶粒與焊盤的導電的性能。焊料的潤濕性、金屬線的點焊強度、塑料外殼包覆的安全性。在半導體元器件、電子光學系統、晶體材料等集成電路芯片運用中都有廣泛的行業應用。
半導體封裝中一般使用的是真空等離子清洗機,因為處理的半導體例如:晶圓、支架等產品對工藝環境的要求很高,所需真空反應腔的材質選擇也很講究。
金鉑利萊-半導體行業真空等離子清洗機一般選擇使用鋁反應腔的五大優勢:
(1) 鋁合金密度低,強度高,超過優質鋼,機械加工性能比較好。
(2) 鋁具有優良的導電性、導熱性和抗蝕性。
(3)材料對化學反應的兼容性比較好,不易產生金屬污染。
(4)表面處理方面鋁合金較為豐富,包括電泳、噴涂、陽極氧化等。
(5)趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上,使得電流分布更均勻,腔體不容易發熱。
金鉑利萊注重表面處理解決方案。專業研發生產等離子清洗機、等離子活化處理機的科技企業,自主研發生產的等離子清洗機、真空等離子清洗設備,大氣常壓等離子表面清洗機、應用于多個行業等離子表面清洗、活化、刻蝕。
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